Cuptorul cu vid este, în general, compus din motorul principal, camera cuptorului, dispozitivul de încălzire electrică, carcasa etanșă a cuptorului, sistemul de vid, sistemul de alimentare cu energie, sistemul de control al temperaturii și vehiculul de transport extern. Carcasa etanșă a cuptorului este sudată din oțel carbon sau oțel inoxidabil, iar suprafețele de îmbinare ale părților detașabile sunt sigilate cu un material de etanșare în vid. Pentru a preveni deformarea carcasei cuptorului după încălzire și deteriorarea materialului de etanșare la încălzire, carcasa cuptorului este în general răcită cu apă sau cu aer. Camera cuptorului este situată în interiorul unui înveliș etanș al cuptorului. În funcție de scopul cuptorului, camera cuptorului este echipată cu diferite tipuri de elemente de încălzire, cum ar fi rezistențe, bobine de inducție, electrozi și tunuri cu electroni. Cuptoarele cu vid pentru topirea metalului sunt echipate cu creuzete, iar unele sunt echipate cu dispozitive automate de turnare și manipulatoare pentru încărcare și descărcare. Sistemul de vid este compus în principal dintr-o pompă de vid, o supapă de vid și un vacuometru.