Cuptoarele cu vid sunt cuptoare cu vid pentru tratament termic, care sunt împărțite în funcție de echipamentul de aplicare și includ următoarele tipuri:
Cuptor de călire în vid, cuptor de lipire în vid, cuptor de recoacere în vid, cuptor de magnetizare în vid, cuptor de călire în vid, cuptor de sinterizare în vid, cuptor de sudare cu difuzie în vid, cuptor de cementare în vid etc.
Conform metodei de încălzire, cuptorul cu vid este împărțit în cuptor cu rezistență la vid, cuptor cu inducție în vid, cuptor cu arc electric cu vid, cuptor cu arc electric autoconsumabil, cuptor cu fascicul de electroni (cunoscut și ca cuptor cu bombardament electronic) și cuptor cu plasmă.